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专业分析导致影像测量仪误差的因素


在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:

在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:

(1)光栅计数尺的误差;

(2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;

(3)工作台两测量轴垂直度带来的误差;

(4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;

(5)测量室温度偏离20℃参考温度带来的误差;

(6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

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